离子束抛光属于原子量级上的无应力、非接触式抛光。

从基本原理上来理解，就是在真空状态下，利用具有一定能量的惰性气体离子，比如氩气离子，去轰击工件表面，通过物理溅射效应去除表面材料。

蔡司利用离子束抛光技术制作了离子束抛光装置，这属于他们的机密产品买不到，其中还需建立多层膜，可以降低晶粒扩散时的反射率，从而打造更小的粗糙度，硬生生把这项技术推向了物理极限，能打破物理极限的东西可能只有魔法了。

看着在长春光机所忙碌的专家们，路阳帮不了忙，他也试过了触摸各种设备，没任何反应，原因应该是这一套设备没有形成固定的生产线，还处于研究阶段。

廖老带着人从工作间出来，对路阳说道：“走吧，出去接人。”

来到大门外，只见两台黑色商务车上下来4个人，其中两名看起来比较年轻的魁梧壮汉戴着墨镜，蓝牙耳机，路阳猜测应该是保镖。

另外两人年纪都在50岁左右，一男一女，都戴着眼镜，皮肤粗糙，穿着普通的休闲外套。

“廖老，您好，我们是23所的，奉命来提供研究协作。”

开口的男人个头挺拔，声音苍劲有力，一看站姿便知是部队出身。

“你好，我就是廖锡昌，感谢两位，不知怎么称呼？”

男人笑道：“我叫柴文政，她叫丁冉。”

女人上前打招呼：“廖院士您好！”

“走吧，我们边走边说。”

从大门到工作间有3分钟路程，廖锡昌向两人介绍了基本情况，两位黑衣保镖检查完工作间后守在门外。

柴文政也是临时接到上级的命令，来之前并不清楚具体是做什么的，只知道对方需要离子束技术方面的帮助，原以为会很简单，毕竟这个领域，23所是最强的，并被授权可以开放技术。

“离子束抛光技术吗？与我们的方向有重合，但又不完全一样。”柴文政说道，拿起廖老给他的资料。

丁冉翻了几页技术资料，皱眉说道：“不光抛光技术，还设计到多重镀膜，廖老您这边需要我们怎么配合。”

廖锡昌也没藏着，“第一，协助我们把资料上这些技术实现，第二，在离子束抛光方面是否能利用23所的技术完成替代，绕开专利。”

资料上并未标注来源，仅仅只是镜片制造工艺，柴文政忽然说道：“我们这是打算造EUV光刻机？”

这么点资料，能快速判断出最终目的，一旁的路阳表示佩服，看来又是做捧哏的一天。

廖锡昌点点头，“长春光机所这边负责光学系统，镜片与镜头组装，镜片用来实现13.5纳米极紫外光源的可利用性。”

“极紫外光太容易被吸收了，连空气都能把它完全吸收，必须在真空环境才可以实现反射。”丁冉边看资料边说。