张老曾在德州仪器工作20年，加上几十年的半导体行业经历，对行业的把控，国外政策的了解，整个华国都再难有人与之媲美，路阳感受良多，直道这次没白来。

聊了一会行业局势，张老便问道，“上次我们聊到EUV，既然今天路阳也在，你们实话告诉我，真实进度如何了？”

聊了这么久，路阳能大概了解老人的心理，憋着一口气直到今天，就为了让华国在芯片上实现自主，如今DUV已经解决了，唯一的执念就在EUV。

路阳如实回答道，“最难的镜片问题已经解决，现在卡在光学系统部分，击打金属锡的难度太大，目前仍在攻克，匹配的双工件台技术也在研发中，关键零部件上还缺部分。”

廖老补充道，“现在由23所与华科院的同事们在设计验证模型，低层原理上跟ASML相同，但由于光源使用的是自研激光系统，整个EUV体系上跟国外还是有很大区别。”

张老考虑片刻，说道，“这也是个好消息，镜片技术最为耗时耗力，你们能解决这部分，已经算是重大突破了，光学系统自研也好，以后不会被卡脖子，照这个进度，2年内我们便可追赶上国外最先进的技术。”

“小路啊，中心那边托我带句话，邀请你到中芯考察一次。”

哪怕离开了中芯，张老心中仍随时记挂着，董事长江尚离世后，掌门人的争斗终于告一段落，张德方获胜，并花了极大代价稳住了梁松，只有路阳知道，未来几年两者之间的争斗从未停止，真实原因他并不清楚。

“张老，如您判断不错，今年华芯会被重点关注，这个时候跟我们走太近对中芯反而不妥，真实原因就是现在产能还跟不上，今年内我们也无法给中芯提供光刻机。”路阳照实回答，现在中芯的整个架构都是围绕ASML体系建立的，也不可能放弃。

“华芯的光刻机建成后预估产能是多少？”

“3条线每月6台，华虹那边预定了第一批10台，接下来的都不会外销，华芯的晶圆厂至少需要60台。”

张老想了下，语气中饱含期待，“能不能先匀两台给打中芯，让他们提前熟悉华芯的体系。”

看着老人的眼神，拒绝的话路阳无法说出口，“我想想办法！”

得到路阳的承诺，张老心情大好，笑道，“年前廖院士跟我提过多次，让我协助华芯建立晶圆厂，我一直在犹豫自己是否能胜任，毕竟对华芯的体系我并不清楚，今天见到你，我放心了，容我再多问一句，华芯选择的应该是IDM路线吧！”

“是的，这是必须要走的路，无论是华芯还是华微，都只有这条路可选。”

路阳知道张老后来为了推动行业的联动，还推出了CIDM，让产业链各企业相互持股，但那都是无奈之举，光刻机被卡得太死了，如今自然不需要再如此。

廖老这时说话了，他不想把张老到华芯去帮忙变成是一种交换。

“张老，中芯也是华国的企业，对行业的贡献谁都不会忘记，您别听网上那些谣言，路阳在大方向上是不会犯错的，无论您是否能过来帮忙，暗中我们也会想办法协助中芯的。”

张老叹了口气，“廖院士，小路的品行我还是相信的，去华芯帮忙建造晶圆厂，只是为了完成我的心愿而已，曾经我以为华国追上西方希望渺茫，是华芯让我看到了希望，我怎么能不出一把力呢。”

“中芯的事，你们不说我都明白，如果我还在，我相信你们会优先供应，但是如今中芯的顶层内斗，资本结构复杂，小心些也没错，清岛芯恩今年的结构也会调整，逐步转向华芯体系。”